1.高损伤阈值薄膜技术

主要从事光学薄膜缺陷控制技术研究，包括低缺陷高阈值薄膜制备工艺，激光后处理技术，激光损伤机制研究，镀膜前处理技术。

2.低损耗薄膜技术

主要从事光学薄膜损耗控制技术研究，损耗包括吸收和散射。主要涉及从190nm到10.6nm不同工作波段的薄膜的损耗控制工艺和损耗检测技术。

3.薄膜元件表面形变控制技术

研究光学薄膜元件表面形变控制技术与方法，包括但不局限于薄膜应力演化行为、膜层结构应力设计与预测、界面力学行为等。